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日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

更新日期:2024-08-15

訪問(wèn)量:1206

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

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簡(jiǎn)要描述:
日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用
耐食性に優(yōu)れ、粘性流體の微?;瘔T布に最適なPEEK型
二流體ノズル

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在我們身邊的各種電子設(shè)備中使用的半導(dǎo)體。近來(lái),半導(dǎo)體的重要性進(jìn)一步提高,與此相結(jié)合,半導(dǎo)體的品質(zhì)提高是必須的。在半導(dǎo)體制造裝置中,清洗硅片的半導(dǎo)體清洗裝置是去除導(dǎo)致半導(dǎo)體質(zhì)量下降的垃圾等異物的重要設(shè)備。在半導(dǎo)體清洗裝置中,在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中,多使用1流體和2流體的噴嘴。

附著在對(duì)象物上的異物和污垢,從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子、碳分子、油脂等各種各樣,其中也有至今為止的噴霧無(wú)法清洗、除去的東西。根據(jù)異物的不同有難以除去的東西,不能充分發(fā)揮作為清洗裝置的性能。另外,半導(dǎo)體清洗裝置的內(nèi)部,只有復(fù)雜而有限的空間,可以搭載的噴嘴有限。為此,本事例的顧客,尋找著①適合裝置的緊湊形狀,②清洗能力高確實(shí)能除去異物,③清洗時(shí)間能縮短的噴嘴。


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特長(zhǎng)

微?;匦预藘?yōu)れた二流體ノズル

耐酸性、耐アルカリ性に優(yōu)れたPEEK樹(shù)脂を採(cǎi)用

低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能

重量はわずか15g

液通路徑が大きく、詰まり対策に有効


専用設(shè)計(jì)品

噴霧方式は外部混合二流體ノズルになります。噴霧仕様を案內(nèi)頂き設(shè)計(jì)致しますので、ぜひご利用ください。設(shè)備取り付けに合わせたノズル形狀で制作が可能です。

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耐食性に優(yōu)れ、粘性流體の微?;瘔T布に最適なPEEK型

二流體ノズル


半導(dǎo)體精密洗浄

純水噴霧

エッチングでの薬液使用

液晶製造裝置への組込み

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