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日本hrd熱范圍TM3

日本hrd熱范圍TM3

更新日期：2024-05-12

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：
日本hrd熱范圍TM3
用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率
用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率

日本hrd熱范圍TM3

日本hrd熱范圍TM3

 

特征

  • 熱物理特性顯微鏡是一種測(cè)量熱效率的設(shè)備，熱效率是熱物理特性值之一。
  • 它是一種可以通過(guò)點(diǎn)，線和表面來(lái)測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
  • 還可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)分布，這在常規(guī)的熱物理性質(zhì)測(cè)量裝置中被認(rèn)為是困難的。
  • 它是一臺(tái)可對(duì)熱物理性質(zhì)進(jìn)行非接觸式和高分辨率測(cè)量的設(shè)備。
  • 檢測(cè)光斑直徑為3μm，可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率的熱物理性質(zhì)測(cè)量（點(diǎn)/線/面測(cè)量）。
  • 由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
  • 您也可以在板上測(cè)量樣品。
  • 激光非接觸式測(cè)量。
  • 可以檢測(cè)薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。

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熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

  1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度而變化的性質(zhì)（熱電阻法），因此通過(guò)捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度的變化，來(lái)測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。 。
  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過(guò)測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來(lái)獲得熱效率。
熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）

    主要規(guī)格

    名稱/產(chǎn)品名稱熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡
    測(cè)量方式熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1D，2D，1點(diǎn)）
    測(cè)量項(xiàng)目熱效率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率）
    檢測(cè)光斑直徑約3μm
    1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間10秒
    待測(cè)薄膜厚度從幾百納米到幾十微米
    重復(fù)精度耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10％
    樣本1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 
    2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
    • 需要對(duì)樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
    • 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
    工作溫度極限24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）
    載物臺(tái)移動(dòng)距離? X軸方向20mm
    ? Y軸方向20mm
    ? Z軸方向10mm
    激光加熱半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：808nm
    激光檢測(cè)半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：658nm
    電源供應(yīng)交流100V 1.5kVA
    標(biāo)準(zhǔn)配件樣品架，參考樣品
    選項(xiàng)光學(xué)平臺(tái)，空調(diào)，空調(diào)房，濺射設(shè)備

     

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