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日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器UCF系列

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器UCF系列

更新日期:2024-05-12

訪問(wèn)量:761

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器UCF系列
低壓力損失
氮?dú)庖?0?/min速度通過(guò)過(guò)濾器,輸入側(cè)壓力0.1MPa,輸出側(cè)壓力損失⊿P僅僅為極低的0.01MPa。
高過(guò)濾精度
0.01μm微粒子去除性能達(dá)到99.9999999999%。為超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器UCF系列

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器UCF系列

 

 低壓力損失內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器 UCF系列

 

  • 低壓力損失
    氮?dú)庖?0?/min速度通過(guò)過(guò)濾器,輸入側(cè)壓力0.1MPa,輸出側(cè)壓力損失⊿P僅僅為極低的0.01MPa。
  • 高過(guò)濾精度
    0.01μm微粒子去除性能達(dá)到99.9999999999%。為超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
 
 

     

    過(guò)濾精度0.01μm
    推薦流量10~160?/min(各型號(hào)區(qū)別:參考流量特性曲線)
    設(shè)計(jì)壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過(guò)14.7MPa的耐壓測(cè)試后出貨。但是,依據(jù)日本國(guó)內(nèi)的高壓氣體保安法,使用壓力的顯示和使用是不超過(guò)1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品,請(qǐng)?jiān)儐?wèn)我們。
    常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
    容許差壓3MPa (435PSIG) at20℃
    連續(xù)使用溫度120℃
    烘烤溫度200℃
    外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
    構(gòu)成材料外罩:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax×0.7μm以下 元素:氧化鋁陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
    連接零件1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它

     

    陶瓷氣體過(guò)濾器

    具備高過(guò)濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過(guò)濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃の高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)

    • PGF系列: 蜂窩狀構(gòu)造部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10~200L/min
    • PGFL系列: 蜂窩狀構(gòu)造部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量20~400L/min
    • UCF系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.01μm 推薦流量10~160L/min
    • SPC系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10L/min
    • UCH系列: 過(guò)濾精度0.003μ 推薦流量40~200L/min

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