日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500
更新日期：2024-05-12
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簡要描述：
日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500系列差壓式大流量控制器DPFM / DPFC500系列 質量流量的測量和控制是通過測量流體管道中產生的微小壓差來實現的。
日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500系列
日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500系列
1. 1。可以
測量小尺寸和大流量。在湍流中測量壓差，流路直徑小，流路長度短。
對于傳統(tǒng)的熱力類型，湍流是層流的，因此無法在大流量下實現小型化。
EX）500SLM：流路直徑1/2“流路直徑5”
2。流量計
通過測量超低壓力損失和微小壓差，以幾乎與管道阻力相同的高速響應。
目標氣體流量/壓力（目標）
流量：1000SLM至5000SLM
壓力：大氣壓至0.99MPa
標準校準壓力：0.2MPa，0.5MPa
目標氣體：N2，空氣，H2，CH4，Ar，CO2，等氫Max1000SLM
| 目標氣體 | N2，Ar，空氣，H2等（可咨詢） |
| 供給（入口）壓力 | 0.4-0.7MPaG |
| 下游（出口）壓力 | 相對于供給壓力為-0.3MPa以下 |
| 滿量程流量（1） | 1000、2000、3000 SLM |
| 切 | 設定低于2％FS時控制閥關閉 |
| 準確性 | FS S±3％以內 |
| 重復性 | ±0.5％FS |
| 使用范圍（精度保證） | 0至50°C（10至40°C：保證精度），無凝結 |
| 反應性 | 在2秒鐘內設置值（典型值） |
| 沖突 | 1英寸SWL |
| 耐壓 | 0.99兆帕 |
| 電源電壓 | DC24V±10％，200mA |
| 外部輸入 * C / C * SET | *閉合：控制，打開：關閉 * 0-5VDC |
| 外部輸出 *警報 * OUT | *報警時： 與關閉的設定流量之差：上限和下限（9.9％FS） 主機異常（電源電壓） * 0至5VDC |
| 氣源壓力（用于閥門驅動） | 0.4-0.7MPaG |
| 供氣競賽 | ф4毫米一鍵式 |
| 外密封 | 1x10 -7 Pa ? m 3 /秒（He） |
